在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP,将得到的灯光用()聚光,然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。
A、凸透镜
B、凹透镜
C、聚光镜
D、平光镜
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在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP,将得到的灯光用()聚光,然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。
A、凸透镜
B、凹透镜
C、聚光镜
D、平光镜